【應用範例】
半導體產業晶片製程:Zirconia,CVD電上下電極陶瓷零組件、PVD絕緣礙子,陶瓷環、陶瓷機械手臂半導體產業封裝製程:LIFT PIN、陶瓷腔體、Zirconia、切割機用切割盤、電漿清潔承載座、打線陶瓷嘴、覆晶封裝用陶瓷熱壓頭及晶粒固定座LCD產業 ARRAY 製程:LIFT PIN、PIN Guide、Diffuser Extansion、Zirconia,蝕刻機陶瓷上電極 / 下電極LED產業晶粒製程:後製程 - 陶瓷研磨盤、陶瓷 切割盤、導電陶瓷
氧化鋁在地球上的蘊藏量僅次於氧化矽,使得氧化鋁陶瓷價格低廉且應用最多。1930年代,德國的西門子公司首先把氧化鋁開發為汽車用的火星塞絕緣體,開啟了商用氧化鋁材料的應用。之後數十年,隨著交通運輸業與電子工業的快速發展,業界大量地研發與生產引擎用的火星塞及半導體IC用的絕緣性陶瓷。
現今,氧化鋁已廣泛用於個人電腦的基板、電子零組件、電路等,除了因為製作成本低廉、取得容易、具備足夠的機械強度、不錯的熱傳導能力及化學穩定性等優點外,又能與鎢、鉬-錳等金屬線路材料形成穩定的連結,因此成為電子產業中非常重要的材料。
由於完全緻密的氧化鋁在可見光區是透光的,且熔點較一般玻璃高出許多,優異的抗腐蝕特性也適合應用在高溫、高壓的環境中,所以隨著陶瓷製程技術的逐步改良,使其能廣泛地應用在照明、光學儀器等領域。
光電半導體的關鍵性製程均需於乾淨無塵的環境內施行,而且零件是處於高溫、真空狀態以及具腐蝕性的氣 體環境中運作,有鑑於此,由於精密陶瓷能在嚴苛的化學環境下仍能保持高度的穩定性,而低膨脹係數、抗高溫潛變、高絕緣電氣特性、高密度、抗氧化及高硬度的機械性質等多樣特性,均能在製程中展現高度的優勢。
【特長】
●常溫或高溫下使用時具有很強的機械性能。
●耐磨耗,高硬度,絕緣性強。
●化學性能極其穩定,在高溫環境下也具有很強的耐腐蝕性。 |